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DRYVAC DV 450 - DVR 5000 C-

DRYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空 泵品种中的一个新的系列,它根据具体 应用可提供各种功能。DRYVAC系列在 开发时考虑了光电行业、平板显示和加 工工业市场的特殊要求。所有DRYVAC 泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且 易于与系统组合,尤其是与业经考验的 RUVAC WH(U)WS(U)WA(U)系列罗茨 泵实现组合。

螺杆原理的优点 由于气体在螺杆泵内的气路短而简单, 因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏 感。这确保了在工业应用条件下更长的 系统正常运行时间。

从泵入口到其排气口之间直而短的气路 缩短了气体停留时间,因此减少了泵内 潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气 镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝 液。

与螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC 的开发也是用于高要求的应用。此外 DRYVAC的应用范围更是扩展到光电和 平板显示的生产工艺。

适合应用特点的DRYVAC版本说明 DRYVAC DVDV S100mbar至大气 压段的抽速进行了优化。因此DVDV  S型适合快速抽空应用(如进样室), 或大腔室抽空。 DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供 更高可靠性,其优化的性能适合光电和 平板显示生产工艺常用的工艺气 体。DRYVAC DV C型对氢气具有高抽 速,并且由于集成了吹扫气系统,对于 粉尘不敏感。 DRYVAC的主要特点:设计紧凑、易于 布置成水平流的泵组。DV650比市场上 同级别产品的功耗低30%

DRYVAC平台的所有版本可提供不同类 型的配置:对于DRYVAC -r,泵的变频 器外置,可集成于外部电气柜内;对于 其他泵型,变频器集成在泵上。DRYVAC -i型配置了带有触屏显示器和软件 用户界面的PLC,使得操作和配置更加 简单。S-i型标配Profibus24V I/O接口 (可根据要求提供其他接口)与系统对 接。另外,S-i型安置在有脚轮、高度 可调地脚和Harting插座/插头的完整外 壳内。 DRYVAC DV 450DV 650是单台螺杆 泵,DV 1200则配备了两个并联运行的 螺杆泵。 DRYVAC DVR 5000 C-iDRYVAC -i特殊版本。该工艺泵由DRYVAC DV  650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨 泵组成,整体进行了集成控制。与螺杆 泵一样,WH 2500也是由变频器操纵 和控制(最高100Hz)。泵组对氮气的 有效抽速约为3800立方米/小时。

DRYVAC系列设计特点 - 水冷 - 完全密封的螺杆和罗茨泵,只与外 部形成静密封 - 机械和电气集成简单 - 通过监视运行温度、排气压力和电 流消耗提供集成保护功能 - 占地面积小 - 能耗低,归功于优化的转子线形以 及符合IE2 效率等级要求的创新电机 设计 - 适用电压和频率范围大:380 -  480V50/ 60Hz - NRTL认证 - 符合RoHS

典型应用 -  太阳能镀膜(SiNZnOa-Si/µ- SiCdTeCIS/CIGS等) -  进样室 -  拉单晶/多晶硅铸锭 -  显示器和玻璃镀膜 -  耐磨涂层镀膜 -  带钢镀膜 -  工业炉 -  冶金 -  真空干燥 -  电子束焊接

客户得益 最紧凑的螺杆干泵,占用空间最小 -  最紧凑的螺杆干泵,占用空间最小 -  系统集成灵活性非常高 -  噪音低 -  可靠性高 -  集成的自我监控功能 -  无意外停机,维护要求低


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