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RUVAC WA/WAU 251-2001系列罗茨真空泵， 配空冷法兰安装电机
罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得 设备，广泛应用于各类真空应用。与前 级泵配合组成罗茨机组，具有下列优 点：
1 4 -3 10 -2 10 -1 10 100 101 102 100 500 cfm 750 Torr 4 欧瑞康莱宝真空公司全系列产品样本 欧瑞康莱宝真空 应用 罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得 设备，广泛应用于各类真空应用。与前 级泵配合组成罗茨机组，具有下列优 点： 降低极限压强 按一般经验，配置罗茨真空泵后系统极 限压强降低至原来的1/10。两级罗茨和 相应前级泵组合其极限压强可达到 10-5mbar(0.75 x 10-5Torr)量级，某些情 况下无需再另配高真空泵(涡轮分子 泵，或扩散泵)。
增大抽速 由于转子是非接触转动，罗茨真空泵可 高速运转，几何尺寸小的泵也能达到非 常高的抽速，在中低真空范围单泵超过 1500m3 /h (589 cfm)的抽速，只有罗茨 真空泵才能达到。 选择合适的前级泵和罗茨泵组合，即便 是小抽速的前级泵也可实现抽除大量气 体。与相同抽速的单一前级泵相比，能 耗大大降低。
在真空技术领域内罗茨真空泵的应用还 得到进一步的专业化发展： - 集成旁通管(压力均衡管线)的设计， 实现了在高压强段对罗茨泵抽速的利 用，这样可以缩短抽空时间，特别适 用于周期性的工艺(见“有/无旁通 的抽速曲线对比图)
高纯气体或危险气体对系统的气密 性要求严格。配置罐装电机的WS罗 茨泵系列或全密封电机的WH罗茨泵 系列都是完全密封的结构，系统没 有动密封，避免了漏气和漏油的问题， 无故障运行时间超过20,000小时。
转子精确的动平衡，结合强制润滑 的轴承和齿轮，允许罗茨泵高转速 运行，可以通过配置变频器改变转 速。在工艺过程中提高转速实现高 抽速，在工艺停止或工艺间隔期可 降低转速，这种操作可降低能耗和 延长罗茨泵的使用寿命，而可靠性 不受影响。
垂直气流转为水平气流的操作可在 泵的安装地轻松执行，非常适合系 统操作条件的不同要求。
罗茨泵还有个特点即罗茨泵的泵腔内无 油，该特点为罗茨泵带来了如下优势： - 抽送介质不受润滑油或密封剂污 染；不需复杂辅助配件(排气过滤 器、分离器等)； - 齿轮箱内润滑油不受被抽介质影 响，不会因此缩短使用寿命； - 防止前级泵向所连真空室的油气返流 罗茨真空泵的上述特点使其非常适合粗 真空和中真空范围的各种应用。
半导体工业(RUVAC WH 和WS) 罗茨泵广泛应用于半导体技术领域内， 以刻蚀工艺为例（与前级干泵配合使 用）： 系统抽速在200至500m3/h(118-295 cfm)之间，保证涡轮分子泵达到切入压 强10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)。
由于工艺需要抽腐蚀性气体和大量工艺 颗粒，需用全密封类型的产品。齿轮箱 内使用抗腐蚀性能强、使用周期长、可 靠性高的LVO 400润滑油，因此泵的运 行成本很低。 洁净间内使用时，罗茨真空泵配水冷电 机，不用电机风扇。 这种形式的电机可将散入环境中的热量 减至最低。
工作原理 罗茨真空泵的泵壳内有两个对称布置的 叶轮以相反方向旋转。 “8”字转子用齿轮同步，确保叶轮相互 逆向旋转，旋转时叶轮相互间隔很近， 离机壳也很近，但又实际上相互不接触。 在转子I位和II位(见“罗茨泵运行原理 图”)，吸入容量增加。转子继续转到III 位时，一部分容量与进气口的相通被切 断。 至IV位时，该容量空间与排气口相通， 处于前级真空压强下的气体(比吸入压 强高)流入。此流入气体对进气口抽过 来的气体产生压缩，随着转子继续转 动，压缩气体通过排气法兰排出。 每个转子转完一满圈，上述动作重复两 次。 由于转子与泵壳不接触，罗茨真空泵的 转速可以达到很高的速度。相对较小的 泵也能达到很高的抽速。
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产品详细信息：
- RVUAC WA/WAU系列泵标准设计为 垂直流，按订货要求可供水平流产 品； - 标准用油为矿物油LVO 100； - 进气法兰口配置了密封圈和丝网防 污物阱； - 所需数量的润滑油单独装瓶并随泵 发货。
产品参数
