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油扩散泵DIP/LEYBOJET
蒸汽流真空泵的工作原理 扩散泵的运行倚赖于泵油蒸汽，其主要 部件有： - 含有进气口和排气口的冷却泵体 - 喷嘴系统 - 泵油锅
扩散泵工作时，油锅内泵油被加热至气 化，油蒸汽被强迫通过泵内喷嘴系统。 喷嘴的特殊设计能将蒸汽加速至大于音 速（拉瓦尔喷嘴），于是形成高速蒸汽 喷射流，并被喷嘴以特定角度喷向泵 体。蒸汽接触冷泵体后，冷凝成液态泵 油流回油锅。扩散泵和其它类型的蒸汽
流真空泵的抽气能力主要基于蒸汽喷射 流对气体的传输能力。 被抽气体在排气口被充分压缩后由前级 泵抽出。
油扩散泵 与其它的类型的蒸汽流真空泵相比，油 锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低 的，因此气体分子几乎可以全部扩散进 入蒸汽射流中，而其中的绝大部分分子 会被抽出。 扩散泵的抽速（与进气口面积相关）高 而恒定，在进气压强约为10-3mbar (0.75×10-3Torr)至很低压强范围内，蒸 汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作 前级真空 在任何情况下，扩散泵都需配足够大小 的前级泵（见技术数据），前级真空泵 的规格和类型取决于工作条件和所抽气 体量。 1. 在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以上连 续工作 — 抽大量气体。 2. 在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以下连 续工作 — 抽较少量气体。 使用扩散泵时，真空室必须通过阀（3） 和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵 将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压 强，如扩散泵已准备完毕，可打开高真 空阀（4）开始。真空室破空前，必须关 闭前级真空阀（2）和高真空阀（4）， 扩散泵维持在备用状态。
泵油返流 某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷 却的泵体捕集时，就可能发生不希望的 返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的 反射，使其可能向真空室方向运动。 DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2 进气口面积几μg，加水冷帽或冷阱捕 集后，几乎可完全消除油返流。
抽速 任何一种泵的抽速都是指通过泵吸入口 的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体 抽速比重气体抽速大。
扩散泵的返油率 - 无水冷帽和冷阱 约 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1 - 加有水冷帽 约 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1 - 加有冷阱 (T = 10 °C (50 °F)) 约 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1 以上数据是在进口压强<1×10< span="">-4 mbar以 及LVO500条件下测定的。
可达到的极限压强 真空系统可达到的极限压强不仅与扩散 泵型号和额定抽速有关，还与泵油蒸汽 压、冷阱的形状和温度、连接法兰或焊 接点的泄漏以及真空室内表面状况有 关。 在消除了因泄漏和腔体内壁脏造成的放 气影响后，它将能达到“概述”一节所 给“油扩散泵（DIP）可达到的极限压 强”表中所述值。 实际上，以下组合对于实现无返油的高 真空有很好的效果。 - 集成了水冷帽的扩散泵加配星形冷 阱，水冷星形冷阱安装在扩散泵高 真空法兰上。
密封方式 对10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的极限压 强要求，烘烤温度150 °C (302 °F)已足 够。须使用FPM ( FPM=氟橡胶，可耐 150 °C (302 °F) 温度 ) 密封圈或铝制 超级密封环。 为防止压强的变化，扩散泵与冷阱之间 必须使用超级密封环。 低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的极限压 强则要求烘烤温度高达400 °C ( 752 °F )。 实际上只须将真空室烘烤到400°C (752 °F)，而在冷阱上维持一个温度梯度， 使泵入口法兰不超过150 °C (302 °F)。 在这种条件下，允许使用FPM密封环或 铝制超级密封环。 冷却 冷却进水温度不应超过25 °C (77 °F)， 出水不应大于30 °C (86 °F)，否则不能 保证泵油充分冷凝。当串联泵和冷阱的 冷却水回路时，必须使冷却水首先流过 冷阱然后再流过扩散泵，因为真空室可 达到的极限压强在很大程度上取决于冷 阱上泵油的冷凝温度。
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产品详细信息:
DIP 泵-水冷型
DIP系列泵是为工业系统使用而开发 的。的真空性能与这种泵固有的机 械耐用性相结合，使我们的扩散泵成为 高和中真空领域的可靠设备。
产品参数
