-
021-58997868
021-58997868
PRODUCT CENTER
CERAVAC变送器CTR 100和CTR 101
目前的真空技术可以实现从1大气压 （1000毫巴）到10-12毫巴范围内的真 空压力测量，测量范围超过15个数量 级。在这一范围内测量压强的仪表被称 之为真空规。由于物理特性的原因，没 有一个单独的真空规能够在整个压力范 围内进行定量测量。欧瑞康莱宝真空公 司提供采用不同设计的具有各自特有测 量范围（通常为几个数量级）的真空规 （测量原理应用直接压力测量和间接压 力测量）。 应用直接压强测量原理的真空规（绝对 压强）的读数与被测气体种类和待测压 强无关。它们通常被称为机械式真空 规，通过记录作用力来直接确定压强。 应用间接压强测量原理的真空规通过测 量与气体粒子数密度相关的特性（例 如，导热率、电离概率）来测量真空 度。这些特性不仅与压强有关，还与气 体的分子量有关，所以间接法所获得的 压强读数取与被测气体种类相关。间接 测量真空规的读数通常设置为的空气或 氮气，测量其它气体或蒸气时，必须使 用相应的修正系数。
膜片真空规 膜片真空规使用膜片将密封的参考室与 待测真空压强隔开。随着真空度的提 高，待测压强与参考室内的压强之间的 压差变化使膜片弯曲。弯曲形变可由杠 杆之类的机械方式传递给指针或标尺， 也可通过电气方式转换为电热传导真空规（皮拉尼真空规） 该测量原理利用气体的导热率测量真空 度，测量范围从10-4 mbar / Torr到大气 压。欧瑞康莱宝真空采用受控皮拉尼原 理为客户提供能够实现快速响应的真空 计。传感器内由金属丝构成惠斯登电桥 的一根电桥臂。对施加在电桥上的加热 电压进行控制，保证金属丝的电阻和温 度均保持恒定。金属丝向气体传输的热 量随着压强升高而增多，通过测量电桥 的电压变化就可以获得实际的压强。 对温度补偿进行相关改进后，使得真空计 在温度变化较大时也能压强读数准确。气测量信 号。膜片真空规的测量范围为 1 mbar（0.75 Torr）到 2000 mbar（1500 Torr）。
电容真空规 电容式真空规的两个带固定电极的 （Al2O3）陶瓷膜片形成的板式电容 器，当两块电容器板之间的距离发生变 化时，电容随之发生变化（变化与压强 成正比）。通过电气元件将压强转换成 对应的电气测量信，就可以显示真空读 数了。和普通膜片真空规相同，由抽空 参考室作为测量压强的参考。电容真空 规可精确地测量范围从10-5 mbar / Torr 到远高于大气压的压强（单一的电容薄 膜规的量程通常为4个数量级）。
冷阴极电离真空规（潘宁规） 冷阴极电离真空规通过测量气体离化形 成的离子电流来测量压强，以离子电流 为输出为信号，与压强成正比。该类型 的真空规借助磁铁延长电子的运行轨迹 提高离化率，保持低压时的稳定测量。 莱宝的冷阴极电离真空规采用全新的设 计理念，能够在10-2到1×10-9 mbar/Torr 的压强范围内安全可靠地运行。 热阴极电离真空规 热阴极电离真空规通常使用三个电极， 热阴极发射电子到阳极，电子在飞行过 程中与被测气体碰撞使其电离。然后通 过测量在收集极（电极离子探测器）产 生正离子电流，来测量真空度。 目前使用最多的热阴极传感器是BA 规，可测量的压强范围为10-10 到 10-2 mbar /Torr。 采用其它电极排布方式可获得较高的压 强范围，从10-1 mbar / Torr 低至 10-10 mbar/Torr。要测量低于10-10 mbar/Torr 的压强时，需要采用Redhead式超高真 空分离规。由于该系统的特殊的几何布 置，几乎可以完全排除X射线效应和离 子解吸附之类的干扰影响。超高真空分 离规允许测量的压强范围为10-4 mbar / Torr到10-12 mbar /Torr。
联系电话：
021-58997868
产品信息：
CERAVAC变送器CTR 100和CTR 101
产品参数
