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021-58997868
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PRODUCT CENTER
Model ESR系列
罗茨式干式真空泵 抽气速度：1,300 – 30,000L/min ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵，对于L/L，SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。 性能上具有 排气速度可调节，高通信处理功能，从而适应了省功耗，占地面积小，重量轻的工艺要求。
联系电话：
021-58997868
特点:
● 适合用于轻负荷的制程及腐蚀性气体制程
● 较低的运行成本，省功耗，大可节省60%（与本公司Model AA系列相比较）
● 无需N2来做轴密封（Model ESR20N）
● 小型化，重量轻，大减少40%（ 与本公司Model AA系列相比较）
● 增加泵的转速控制
● 高性能的通信机能
● 采用高度控制泵的运转方式
产品参数
