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021-58997868
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PRODUCT CENTER
Model EST系列
螺旋式真空泵 抽气速度：2,500-50,000L/min 适用于生成物较多的重制程 Model EST系列是新研发的独特干式真空泵，采用了螺旋式转子，适用于生成物较多的CVD制程。 具有高附加价值：容许流入气体量大，耐腐蚀性，可调节排气速度，高通信处理功能，适应了 电力功耗低的工艺要求。
联系电话：
021-58997868
特点:
● 适用于生成物较多的制程
● 具备高性能通信功能
● 排气速度快，容许流入气体量大
● 采用高度控制泵运转方式
● 转速自动调节功能
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降 低的问题
● 可对应腐蚀性气体
产品参数
