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TURBOVAC系列半磁浮分子泵
分子泵的驱动与控制 分子泵需要使用变频器做驱动和控制（ 变频器为分子泵提供驱动电压和频率并 监控分子泵的运行状态）。莱宝真空所 有分子泵的变频器均经过优化设计保证 分子泵在极端情况下都能平稳可靠的运 行。 前级泵 分子泵不能在大气下运行所有分子泵需 要适当的前级泵。莱宝真空的TRIVAC 系列双级旋片泵，SOGEVAC BI系列单 级旋片泵和SC系列涡旋泵都可以作为 分子泵前级的选择。DIVAC 系列膜片泵 可以作为复合分子泵的前级。
典型参数 抽速(体积流量)，S，[l x s-1] 给定气体种类的抽速取决于转子直径和 高真空法兰、转子/定子设计、转子转 速和气体分子的重量。抽速S为进气口 压力p1的非线性函数： S = S(p1)
气载量，Q，[mbar x l x s-1 ] 气载量Q与抽速S和进气口压力p1有 关，关系式为： Q = Q(p1) = p1 x S(p1) 最大允许气载量Q最大在最大允许进气 口压力p1，最大时求得： Q最大 = Q(p1，最大)
压缩比，K 对于给定气体种类，压缩比K定义为前 级真空压强pw(=涡轮分子泵前级真空 侧的压强)与高真空压强pHV(= 涡轮分 子泵高真空侧压强)之间的比： k = k(pw) = pw / pHV = pw / PHV(PW) 压缩比很大程度上取决于气载量：在给 定前级真空压强时，气载量降低时，压 缩比增加。
零压缩比，K0 涡轮分子泵的零压缩比K0定义为这台 泵处于“零”气载量时的压缩比。 在实际应用中，绝不会出现所要求的“ 零”气载量(有限的泄漏量、密封元件释 气、壁体表面解吸附)。因此，零压缩 数据需要在极低气体量时测量获得。使 用金属密封泵的零压缩比明显高于使用 O形圈密封的同型号泵。
极限压强(本底压强)，p极限，[mbar] 涡轮分子泵的极限压强定义为测量系统 除气24小时后在试验腔体中48小时后 达到的压强。极限压强与使用的前级真 空泵以及高真空法兰上所用的密封类型 相关。
TURBOVAC iX - 集成真空系统控制器配置灵活的通讯 接口和附件控制接口（用于控制冷却 单元，阀门，规管和前级泵等） - 附件齐全，即插即用 - 适应性强，适合各类真空工艺
联系电话：
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产品详细信息：
TURBOVAC 90 i/iX、250 i/iX、(T) 350 i/iX 和 (T) 450 i/iX 集成分子泵
技术特点 TURBOVAC i - 集成变频器，24/48V DC 电源供电 - 切削成型转子和全新复合级设计使分 子泵具有最佳性能和最大抽速，对轻 质气体尤为突出 - 任意方向安装 - 极高的可靠性源于创新的轴承设计理 念 - 设计灵活，适应性强 - 市场上唯一一款无油半磁浮分子泵 - 现场维护（更换轴承），维修成本低， 时间短 - 通讯接口齐全（标配USB，RS485和 15针数字I/O）
TURBOVAC iX - 集成真空系统控制器配置灵活的通讯 接口和附件控制接口（用于控制冷却 单元，阀门，规管和前级泵等） - 附件齐全，即插即用 - 适应性强，适合各类真空工艺
产品参数
