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021-58997868
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PRODUCT CENTER
MAG INTEGRA – 磁悬浮分子泵 TURBOVAC MAG W 300/400/600/700 P/iP复合分子泵
莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁 净的高真空和超高真空，具有操作简 单，可靠性高等特点。与性能良好的前 级泵组合后，可以实现低于10-10mbar (0.75 x 10-10 Torr)的压力。
工作原理 涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮， 快速旋转的叶片将动量传输给气体分 子，将最初无方向性的热运动变成有定 向运动。 涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子 从进气口法兰定向运动到前级真空口。 在分子流范围——也就是在低于10-3 mbar(0.75 x 10-3 Torr)的压强时，气体 分子的平均自由行程大于转子与定子叶 片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以 抽气过程非常高效。 在粘滞流范围，也就是压强超过10-1 mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情况则完全不 同，分子间的频繁碰撞降低了转子的效 率。因此，涡轮分子泵无法在大气压下 工作，需要适当抽速的前级真空泵。 为了使气体分子产生定向运动，转子叶 片的末端的线速度必须足够大。所以， 转子也要有相应的高转速。对于莱宝真 空的涡轮分子泵而言，较大直径转子（ 例如 TURBOVAC 1000 ，大约 500px(7.87in.)）的转速大约为36000 rpm，而较小直径转子（例如TURBOVAC 50，大约150px(2.36in.)）的转速为72000 rpm。
分子泵设计理念 莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴 承和转子技术的涡轮分子泵。如 TURBOVAC系列机械轴承标准分子 泵；TURBOVAC MAG系列磁悬浮轴承
分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分 子泵（半磁浮分子泵仅在排气端配置脂 润滑轴承，高真空端配置免维护的永磁 轴承）。莱宝真空的分子泵均不采用油
润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵 对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所 有分子泵均可以任意角度安装。
TURBOVAC MAG 磁悬浮分子泵 TURBOVAC MAG系列 TURBOVAC MAG系列耐腐蚀磁悬浮分 子泵，适用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1 Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压 强范围。对空气的抽速从300 l x s-1(进 气口法兰直径 = 100mm(3.94in.))至 3200 l x s-1(进气口法兰直径 = 320 mm(12.6in.))不等。 TURBOVAC MAG泵最常用于半导体工 业，例如蚀刻、CVD、PVD和离子注 入，也就是需要抽除腐蚀性气体的应用 条件。
TURBOVAC MAC产品线的优势是： - 无碳氢化合物，可以实现清洁的高 真空和超高真空条件； - 任何安装方向都具有高性能 - 运行高度可靠 - 振动极低 - 防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体 - 免维护
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